电子行业冲洗水质标准（电子级水的技术指标）

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率（25℃）/MΩ·cm

≥18（5%时间不低于17）

≥15（5%时间不低于13）

≥12

≥0.5

全硅/（μg/L）

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒数/（个/L）

0.05μm~0.1μm

500

-

-

-

0.1μm~0.2μm

300

-

-

-

0.2μm~0.3μm

50

-

-

-

0.3μm~0.5μm

20

-

-

-

＞0.5μm

4

-

-

-

细菌个数/（个/mL）

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

铜/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤2

≤500

锌/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤5

≤500

镍/（μg/L）

≤0.1

≤1

≤2

≤500

钠/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

钾/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤500

铁/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

铅/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

氟/（μg/L）

≤1

-

-

-

氯/（μg/L）

≤1

≤1

≤10

≤1000

亚硝酸根/（μg/L）

≤1

-

-

-

溴/（μg/L）

≤1

-

-

-

硝酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500